▣측정범위(X Y )
•200X100X(mm)
•전체테이블크기 :360X250
•글라스테이블크기:233X133
•측정기전체사양:620X550X1700
•최대허용하중 :25Kg
•장비중량:160Kg
•이송방법:수동
•분해능(Display Resoluion) :0.0001mm
•Accuracy (XY) :(3＋L/200)㎛
• Optical measuring (Z) :(5＋L/200)㎛
• Working distance :82mm
• Repeatability : ±2.0㎛
▣렌즈및배율
• Zoom Lens :0.7X-4.5X 
• 모니터 배율 :28X-180X 
• CCD Camera  :high resolution(430,000화소)
   Color Camera 600TV line(USA TEO)
▣조명
• Bottom Light  (투과조명) :프로그램 콘트롤
   LED 조명
• Surface Light (반사조명) :프로그램 콘트롤
   8분할 고휘도 LED조명
▣측정프로그램 :LT-3D(Manual)
▣컴퓨터시스템
• 듀얼코어 G4560 4GB DDR PC4 HD 1024GB 
   52X CDRW   24” Flat LED Monitor